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Röntgentiefenlithographie

Elektronik, Halbleiterphysik, Anwendung der Röntgenstrahllithographie, bei der die hohe Strahlparallelität ausgenutzt wird, um sehr tiefe Strukturen in ein photoempfindliches Material zu belichten. Eine Anwendung findet die Röntgentiefenlithographie beim LIGA-Verfahren.

 

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Rückbiegeeffekt

 

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