Röntgentiefenlithographie
Autor:
Karl-Wilhelm Steinfieber
Karl-Wilhelm Steinfieber
Elektronik, Halbleiterphysik, Anwendung der Röntgenstrahllithographie, bei der die hohe Strahlparallelität ausgenutzt wird, um sehr tiefe Strukturen in ein photoempfindliches Material zu belichten. Eine Anwendung findet die Röntgentiefenlithographie beim LIGA-Verfahren.
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