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TSA

Technologische Spezialausrüstung. Für die Fertigung von Halbleiterbauelementen erforderliche spezielle Ausrüstung bzw. Geräte. Zu den T. gehören z. B. Diffusionsöfen (Diffusionsverfahren), Implantationsanlagen, JUB, Bedampfungsanlagen (Aufdampftechnik), Sputteranlagen (Sputtertechnik) usw.

 

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Tschebyschew-Polynome

 

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