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Vakuumwerkstoffe

Vakuumtechnik, Werkstoffe, die für Anwendungen in der Vakuumtechnik besonders geeignet sind. Gefordert sind Gasdichtheit, geringer Eigendampfdruck, geringer Fremdgasgehalt, keine oder leicht zu entfernende adsorbierte Schichten auf der Oberfläche; ausserdem chemische Resistenz und Unempfindlichkeit gegen Temperaturwechsel und mechanische Belastungen. An Metallen werden unter anderem Stahl, Titan, Aluminium und Kupfer sowie verschiedene Legierungen benutzt. Als nichtmetallische feste Stoffe kommen Glas, Keramik (Zeolith, Aluminiumoxid), Elastomere und Harze in Frage.

 

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