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Justieren

Teilschritt der Lithografie, bei dem vor dem Belichten die Strukturen auf der Schablone zu Strukturen auf dem Wafer ausgerichtet werden. Das J. wird in der gleichen Anlage wie das Belichten durchgeführt. Dabei wird die Lage sog. Justiermarken auf der Schablone und dem Wafer registriert und deren Position so lange durch Drehen und Verschieben korrigiert, bis die geforderte Justiergenauigkeit (Überdeckungsgenauigkeit) erreicht ist. Das J. ist meist automatisiert. abgleichen, in der Messtechnik das Einstellen eines Messgeräts (auch einer Massverkörperung), so dass die Messabweichungen möglichst klein werden oder die Beträge der Messabweichungen die Fehlergrenzen nicht überschreiten. Das Justieren erfordert im Unterschied zum Kalibrieren einen Eingriff, der das Messgerät oder die Massverkörperung bleibend verändert (z.B. das Justieren eines Drahtwiderstands durch Ändern der Drahtlänge oder eines Messnormals durch Einstellen veränderlicher Glieder im Messgerät).

Der Begriff »justieren« wird manchmal auch verwendet für das Funktionstüchtigmachen eines Messgeräts oder für das genaue Einrichten einer (insbesondere optischen) Messanordnung. (Eichung)

 

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