Justieren

Teilschritt der Lithografie, bei dem vor dem Belichten die Strukturen auf der Schablone zu Strukturen auf dem Wafer ausgerichtet werden.

Das J. wird in der gleichen Anlage wie das Belichten durchgeführt. Dabei wird die Lage sog. Justiermarken auf der Schablone und dem Wafer registriert und deren Position so lange durch Drehen und Verschieben korrigiert, bis die geforderte Justiergenauigkeit (Überdeckungsgenauigkeit) erreicht ist. Das J. ist meist automatisiert.

Free Direct XXX Videos