Techniklexikon

Restgasdruck

Oberflächen- und Grenzflächenphysik, technischer Ausdruck für den nach der Evakuierung mittels Vakuumpumpe vorhandenen Gasdruck in einer Analysekammer. Typische Restgasdrücke sind 10^-6 hPa (Hochvakuum) oder 10^-10 hPa (Ultrahochvakuum). Der Restgasdruck beschreibt einen nicht-stationären Zustand, der im wesentlichen abhängig ist von: 1. nachströmender Luft z.B. an Undichtigkeiten an Dichtungsringen; 2. »Ausgasen« aus den inneren Wänden der Analysekammer; 3. Abpumpgeschwindigkeit der Vakuumpumpe. Die chemische Zusammensetzung des Restgases wird mittels eines Restgasmassenspektrometers bestimmt (Massenspektrometer).