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Belüften

in der Vakuumtechnik das Wiederherstellen von Atmosphärendruck (p0) in einer zuvor bis auf einen Druck p2 evakuierten Vakuumapparatur (vgl. Auspumpzeit). Das Belüften erfolgt in zwei Phasen: Bis zu einem kritischen Druck Belüften bleibt der einströmende Gasdruck konstant, anschliessend nimmt er mit dem ansteigenden Druck ab. Die Zeit tB für das Belüften von einem Druck p2 < Belüften auf p1 > Belüften beträgt bei Zimmertemperatur (20°C) näherungsweise:

Belüften

(V: Behältervolumen in Liter, d: Durchmesser der Belüftungsöffnung in cm). c ist eine Korrekturfunktion, für p < Belüften ist c(p/p0) =  p/p0, für p Belüften p0 steigt c bis auf etwa 1,3 an. Für einen 1m3 grossen Behälter mit 1cm Ventildurchmesser ergibt sich daraus tB = 84s. Die Formel gilt grundsätzlich für alle Vakuumbereiche. Wegen des komplizierteren Aufbaus mit Vorpumpen und/oder Ausheizvorrichtungen muss jedoch im Hochvakuum und Ultrahochvakuum eventuell mehrstufig belüftet werden. Bei nicht ausheizbaren Anlagen muss mit trockener Luft belüftet werden, um Kontaminationen zu vermeiden.

 

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