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Extraktor-Ionisationsvakuummeter

Vakuumtechnik, ein Ionisationsvakuummeter, bei dem der Ionenfänger derart »versteckt« angeordnet ist, dass die innerhalb der Anode erzeugten Ionen durch die Öffnung einer Extraktionselektrode auf den Ionenfänger fokussiert werden. Hierdurch wird der Öffnungswinkel, unter dem an der Anode gebildete Photonen den Ionenfänger erreichen können, deutlich reduziert. Dies erlaubt eine Verbesserung der Messempfindlichkeit gegenüber dem Bayard-Alpert-Vakuummeter auf unter 10-10 Pa = 10-12 mbar (obere Grenze des Messbereichs: ca. 10-2 Pa = 10-4 mbar).

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Extraktor-Ionisationsvakuummeter 1: Risszeichnung

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Extraktor-Ionisationsvakuummeter 2: Elektrische Potentiale der Hauptkomponenten. A: Anode (300 V), K: Ringkathode (200 V), E: Extraktionselektrode (0 V), R: Reflektor (290 V), C: Ionenfänger (0 V).

 

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