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MIM-Technik

Engl. Abk. für metal Emulator metal, Metall-Isolator-Metall. Bauelementetechnik, die auf der Schichtfolge Metall-Isolator-Metall be-i ruht. MIM-Strukturen können im IS-Herstellungsablauf (Zyklus I) z. B. durch sukzessive Ahscheidung und Strukturierung von Metallschichten, Siliciumdioxid und einer 2. Metallschicht hergestellt werden. Als Dielektrikum finden auch Tantalpentoxid I (Ta205), Aluminiumoxid (A1203) u. a. Anwen-I düng, während für die Elektroden die Leitbahnmetalle Aluminium, Gold oder Platin in Betracht kommen, so daß die Grundelektrode gemeinsam mit den Leitbahnen aufgebracht werden kann (Metallisierung). Auf diese Weise lassen sich in Schichtschaltungen, Hybrid-IS oder in MMIC Kapazitäten realisieren (Kondensator, integrierter).

 

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