Isolator

Physikalisch definierter Festkörper, der normalerweise den elektrischen Strom nicht leiten kann.

In I. ist das Valenzband mit Elektronen voll besetzt, das nächthöher gelegene Energieband (Leitungsband) kann von den Elektronen jedoch aufgrund des zu hohen energetischen Abstands (Bandabstand) nicht erreicht werden. I. zeichnen sich also durch eine so breite verbotene Zone aus, daß im Gegensatz zu Halbleitern auch bei höheren Temperaturen keine nennenswerte Erhöhung der elektrischen Leitfähigkeit erreicht wird. Ihre Leitfähigkeit (Leitfähigkeit, spezifische) liegt deshalb unterhalb lO^Ocm)1.

Bei der Herstellung von mikroelektronischen Bauelementen mittels -? Planartechnik werden I. vielfältig angewendet, z. B. als Dielektrikum zur Isolation leitfähiger Halbleitergebiete bzw. Metalle voneinander, nach einer lithografischen Strukturierung als Maske für die Erzeugung leitfähiger Gebiete mittels Diffusion oder Implantation sowie als Schutzschicht zur Passivierung von Bauelementen. Des weiteren werden I. für Gehäuse von elektronischen Bauelementen und als Substratmaterial in der Hybrid-Tech-nik eingesetzt.

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