Photolyse
Autor:
Manfred Schönborn
Manfred Schönborn
Elektronik, Halbleiterphysik, lichtunterstützte physikalische oder chemische Prozesse, bei denen die Absorption von Photonen entweder durch direkte elektronische Anregung oder durch die freiwerdende Wärme in Form einer pyrolytischen Reaktion (pyrolytische Prozesse) den jeweiligen Prozess unterstützt. Eine neuartige Anwendung ist die direktschreibende Mikrostrukturierung verschiedener Substrate durch laserunterstützte Ätzprozesse.
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