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Plasmapolymerisation

Festkörperphysik, Glimmpolymerisation, Verfahren zur Herstellung von dünnen Schichten. Ein im gasförmigen Zustand vorliegendes Monomer wird mit Hilfe eines Niederdruckplasmas, das durch eine Gleichstrom-, Hochfrequenz- oder Mikrowellenentladung erzeugt wird, polymerisiert. Es kommt zur Bildung von dünnen Polymerschichten, die aus hochvernetzten Makromolekülen uneinheitlicher Kettenlänge und einem Anteil an freien Radikalen bestehen. Die mechanischen, optischen und elektronischen Eigenschaften von Plasmapolymerschichten können durch die Wahl des Monomers und der Polymerisationsbedingungen gezielt beeinflusst werden. Plasmapolymerschichten, die eine hervorragende Haftfestigkeit und Kratzfestigkeit aufweisen, werden z.B. zur Passivierung der Oberfläche von Metalldünnschichten oder von Metall-Polymer-Grenzflächen verwendet.

 

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