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Ionenreichweite

Oberflächen- und Grenzflächenphysik, die lineare Distanz eines in Materie eindringenden Teilchens zwischen dem Eindringpunkt an der Oberfläche und dem Punkt, an dem das Teilchen zur Ruhe kommt. Gibt man die Ionenreichweite eines ganzen Teilchenstrahls an, so ist die Energieaufweitung zu berücksichtigen. Die Reichweite Rp eines Projektils wird bei niedriger Energie des Teilchenstrahls durch den nuklearen Energieverlusts (Energieverlust in Materie) dominiert und durch

Ionenreichweite

bestimmt. Darin sind M die Massen, Z die Kernladungszahlen, Nt die Flächendichte des Targets bzw. des Teilchenstrahls und Ered die reduzierte Energie der eindringenden Teilchen. Für Ered gilt 0,3 < Ered < 6. Bei höherer Energie E des Teilchenstrahls ist zudem der elektronische Energieverlust zu berücksichtigen. Für die mittlere Gesamtweglänge R gilt nun

Ionenreichweite,

wobei eelek der elektronische und enukl der nukleare Energieverlust ist.

Ionenreichweite

Ionenreichweite 1: Schematische Darstellung der Implantation von Ionen in Festkörpern; Rp: mittlere projizierte Reichweite, DRp: Reichweitenverteilung.

Ionenreichweite

 

Ionenreichweite 2: Tiefenverteilung der Implantation von Ionen in Festkörpern; C / Cmax: normierte Konzentration, Rp: mittlere projizierte Reichweite, DRp: Reichweitenverteilung, 1 / e1 / 2: normierte Konzentration bei DRp.

 

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