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MMIC

Engl. Abk. für monolithic microwave inte-grated circuit, monolithisch integrierte Mikrowellenschaltung. Integrierte Schaltung (IS, monolithische)ßir Anwendungen in der Mikrowellentechnik. Im Gegensatz zu^ MIC werden MMIC mit Verfahren der Halbleiterblocktechnik hergestellt, sind also Festkörperschaltungen. Wegen der besseren Höchstfrequenzeigen-schaften werden dabei weitestgehend Gal-liumarsenid-Substrate (Substrat, semiisolierendes) eingesetzt (im Frequenzbereich bis 3 GHz auch Siliciumsubstrate). Als aktive Schaltungselemente werden in MMIC vor allem GaAs-FET und Schottky-Dioden auf GaAs-Basis verwendet. Während Widerstände in der für monolithische IS üblichen Weise gefertigt werden, gibt es für Kapazitäten vorwiegend zwei mi-krowellengerechte Ausführungen: Entkopplungskondensatoren in MIM-Technik und sog. Interdigitalstrukturen (Kammstruk-turen) für Anpassungszwecke. Induktivitäten werden mit geraden oder spiralförmigen Teilstücken hochimpedanter Transmissionsleitungen realisiert, die elektrischen Verbindungen selbst als Mikrostrip-Leitungen ausgeführt. MMIC sind erst in den letzten Jahren entwickelt worden. Typische Schaltungsausführungen sind rauscharme Breitbandverstärker bis 26 GHz, Leistungsverstärker bis 11 GHz (10 W) bzw. 18 GHz(> 1 W), Oszillatoren bis 13 GHz sowie komplette Mikrowellenempfänger (Receiver Front End) für das direkte Satellitenfernsehen (DBS-Terminal). Letztere enthalten neben Oszillator und Mischer u. a. mehrere Vorverstärker, Begrenzer und Pufferstufen.

 

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