Techniklexikon

Testfeld

Spezielles Chip bzw. Teil eines Chips zur Überprüfung der Technologie im Rahmen der Bauelementeprüfung und zur Technologieentwicklung. Insbesondere im Entwicklungsstadium einer IS befinden sich viele T. auf dem Wafer, die zur Erfassung der Einhaltung technologischer Parameter dienen. Damit können Ausfallursachen und Modellparameter für den Entwurf (CAD) ermittelt werden. Spezielle Teststrukturen prüfen die einzelnen Technologieschritte und deren Zusammenspiel. Zum Beispiel kann man durch Reihenschaltung von Kontakten die Qualität der Kontaktierung und mit anderen Strukturen das Einhalten der Strukturmaße und die Überdeckungsgenauigkeit ermitteln.