Aufdampfverfahren
Methoden der Kristallzüchtung, bei denen eine Abscheidung aus der Gasphase
erfolgt. Dies gelingt durch thermische Zersetzung flüchtiger Verbindungen,
welche die zu kristallisierende Komponente enthalten (Aufwachsverfahren,
Chemical Vapor Deposition (CVD, chemische Gasphasenabscheidung)), durch
Sublimation oder durch Molekularstrahlepitaxie (Molecular Beam Epitaxy, MBE).
Diese Verfahren dienen meist zur Herstellung dünner
Halbleiterschichtstrukturen, aber auch zur Darstellung kleiner Kristalle oder
von Whiskern in Fällen, in denen andere Verfahren nicht möglich sind.
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