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Transistor integrierter

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Irene Kramer-Schwenk

Funktionselement in monolithischen IS (IS, monolithische). I. T. gehören zu den wichtigsten integrierten Funktionselementen. Sie sind vielseitig anwendbar und können in monolithisch integrierten Schaltungen nicht nur als schaltende und verstärkende Elemente, sondern auch als Konstantstromquellen sowie als Widerstände (Widerstand, integrierter), Dioden (Diode, integrierte) und Kondensatoren (Kondensator, integrierter) eingesetzt werden. (In einigen integrierten Schaltungen auf Basis der Unipolartechnik, z. B. in der CMOS-Technik und in der Enhance-ment-Depletion-Technik, werden sogar ausschließlich Transistoren verwendet.) Bipolare i. T. müssen kompatibel (Kompatibilität) zu den anderen Funktionselementen integrierter Schaltungen sein und unterscheiden sich deshalb sowohl in ihrem konstruktiven Aufbau als auch in ihren Parametern i. allg. von diskreten Transistorausführungen. Ihr Entwurf stellt deshalb stets einen Kompromiß zwischen den sich aus der Integration ergebenden Anforderungen und ihren erreichbaren Kennwerten (Steilheit, Rauschen, Verstärkungs-Bandbreite-Produkt) dar. Fertigungstechnologien wie die Planartechnik verlangen eine planare Auslegung, d. h., die elektrischen Anschlüsse müssen sich auf der gleichen Seite befinden, was zu einer gewissen Einschränkung der Transistoreigenschaften führen kann. Andererseits ermöglichen i. T. besondere Ausführungsformen, die die Vorteile der Integration voll ausnutzen können, so z. B. Multikollek-tor-Transistoren für verschiedene Logik-IS und Multiemitter-Transistoren für die TTL-Schaltungen. In der I2L-Technik werden i. T. sogar örtlich verschmolzen. Demgegenüber bereitet die Integration von Feldeffekttransistoren keine zusätzlichen Schwierigkeiten, da sie ohnehin eine planare Bauform erfordern.

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