Techniklexikon

Vakuummikroelektronik

Elektronik, Halbleiterphysik, neuartiger Ansatz in der Halbleitertechnik, bei der Bauelementefunktionen von Elektronenröhren auf mikro- oder gar nanostrukturierten Halbleitern implementiert werden. Die Strukturgrösse der verschiedenen Baugruppen, wie z.B. Anoden und Kathoden, sowie deren gegenseitige Abstände sind hierbei so klein, dass sie in den Bereich des mittleren Abstandes zwischen zwei Luftmolekülen bei Normaldruck gelangen können. Aus diesem Grunde ist für die Funktion keine Evakuation der »Röhre« mehr nötig. Elektronen bewegen sich praktisch stossfrei von der Kathode zur Anode. Die erforderlichen Stromdichten für einen Betrieb von Vakuum-Mikroelektronik-Komponenten sollen durch dichte Packung und Parallelisierung vieler Mikroröhren erreicht werden. Zum gegenwärtigen Zeitpunkt (2000) ist das Problem relativ hoher Betriebsspannungen (8-10 V) für eine Integration dieser neuartigen Bauelemente mit konventioneller Mikroelektronik noch nicht befriedigend gelöst.