Techniklexikon

LSI

Engl. Abk. für large scale Integration, Großintegration. Zusammenfassende Bezeichnung für IS mit hohem Integrationsgrad. LSI-Schaltungen umfassen integrierte Schaltungen mit 1000 bis 100000 Funktionselementen (FE) oder maximal 10000 bis 20000 äquivalenten Gatterfunktionen (Gate). Außer Gate-Arrays, PLA, Multiplizierer, Zeichengeneratoren und CCD-Matrizen sind Mikroprozessoren und die meisten Halbleiterspeicher typische LSI-Bau-elemente. Sie erreichen < Packungsdichten bis 3000FEmm2 (unipolare IS) bzw. 1000 FEmm2 (bipolare IS), wobei die minimalen Streifenbreiten bereits zwischen 4 und 2 m liegen müssen. Die in der Bauelementefertigung angewendeten Verfahren und Technologien, insbesondere für Lithografie und Strukturierung, sind erheblich aufwendiger als bei der Herstellung von SSI-und MSI-Schaltungen.